鍍鋅
螺旋風管,排氣系統的分類您了解嗎?下面我們就這一問題詳細的介紹一下:
?。?)一般排氣:其來源于機臺運轉發熱產生不含有害物質或是高溫氣體,但考慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環境而不需處理。
螺旋風管主要用于聯通兩地之間的空氣流通,起到通風透氣的作用。市面上使用廣泛的就是
螺旋風管(不銹鋼和鍍鋅板白鐵皮材質)。通風管道由于鐵皮容易在各種環境下發生化學反應,造成腐蝕、生銹。而鋅在干燥的空氣中幾乎不發生變化。在潮濕的空氣中,鋅表面會生成致密的堿式碳酸鋅膜。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排、堿排系統流程:
?。?)酸堿性排氣:其主要來源于化學清洗工作站,清洗晶片時所產生之揮發性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統有刺激性作用有害人體,故必須經過Scrubber中水洗中和處理,再由風機排入大氣。
?。?)有機溶劑(性狀:透明,無色的液體)排氣:其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機溶劑清洗過程時所產生,需經有機廢氣處理設備處理后,再由風機排入大氣。
?。?)堿性(alkaline)剝離排氣:主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液,廢氣首先經過冷凝吸收器,將廢氣中的剝離液冷卻下來,冷凝器(類別:換熱設備)吸收處理后的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和處理,再由風機排大氣。
?。?)應急排氣:當潔凈室機臺端風管內探頭感應氣體濃度過高時,緊急啟用以使生產正常并維持室內環境。